世界首個集材料生長、器件制備、測試分析為一體的納米領域大科學裝置——納米真空互聯綜合實驗站正在我國江蘇蘇州工業園區建設。這個實驗站相當于在太空建設了一個全真空的納米器件研發平臺。

科研人員在建設中的納米真空互聯綜合實驗站調試設備

正在建設中的這個納米實驗站是目前世界上最大的真空互聯科研裝置。其總體方案是：用總長近500米的超高真空管道，將上百臺用于材料生長、器件制備、測試分析的大型儀器設備互聯，實現樣品在不同設備之間傳送時其表面不被氧化、沾污，不被外界大氣環境所破壞。中科院蘇州納米技術與納米仿生研究所研究員、納米真空互聯實驗站常務副總指揮丁孫安說，實驗站通過超高空間分辨、時間分辨、能量分辨、質量分辨等的高端能力儀器設備，對物質的“本征性質”進行研究，從而實現量子材料的設計、制備和表征，后摩爾時代器件加工和測試分析，同時開展新材料、新工藝、新結構和新功能的開發和研究，以及形成第三代半導體工藝包。

“這個實驗裝置是在類似太空的全真空環境下的納米器件研發平臺，相當于把現有的加工設備統一搬到太空。”丁孫安說。

納米真空互聯實驗站是依托中科院蘇州納米所，聯合清華大學薛其坤院士團隊、中科院大連化學物理研究所包信和院士團隊建設的。一期建設由中科院、江蘇省、蘇州市和蘇州工業園區共建，預計2018年建成，建設經費3.2億元。一期建成后將連接30多臺設備，形成100米的真空管道。整個實驗站的總預算是15億元。

蘇州工業園區是全球納米領域具有代表性的八大產業區域之一。中科院納米所所長楊輝說，在此建設納米真空互聯實驗站，是力圖通過真空條件下的互聯集成和若干重大項目驗證，突破現有儀器設備的功能限制，實現材料制備、測試分析與微納加工工藝等方面協同效應，為科研和戰略性新興產業發展提供先進的、開放性的平臺。