項目背景

我國某重要的高端核心電子器件供應基地、半導體新器件新技術創(chuàng)新基地，為提升晶圓搬運效率，支撐半導體生產(chǎn)線的穩(wěn)定、高效運行，決定建設半導體領域最先進的，具有自主知識產(chǎn)權、高效穩(wěn)定、智能化程度高的國產(chǎn)自研晶圓搬運系統(tǒng)。

實施方案

基于該基地的建設規(guī)劃及現(xiàn)狀，格創(chuàng)東智從生產(chǎn)效率提升、數(shù)據(jù)安全、緊密空間設計三個方面進行了詳細的方案設計，為其提供空中物料傳輸、人機協(xié)同、數(shù)據(jù)傳輸?shù)日w解決方案 ：

生產(chǎn)效率提升

通過天車部署安裝，覆蓋對接多機臺復雜工藝流程間的物料搬送，通過MCS進行全流程的物料自動搬送，彌補了傳統(tǒng)人工搬運在效率、失誤率、潔凈度等方面漏洞。

數(shù)據(jù)安全

針對客戶場景提供定制化網(wǎng)絡安全方案，保障客戶對天車運行數(shù)據(jù)、數(shù)據(jù)傳輸?shù)姆€(wěn)定性、可行性、安全性。

緊密空間設計

系統(tǒng)方案包含自研OHT、OHTC、MCS、異形軌道等，整個AMHS系統(tǒng)包含搬運、通訊、存儲等眾多硬件裝備及其軟件，覆蓋整個半導體前道工序，充分考慮客戶在緊密空間下的物料搬運需求整體解決方案。

項目成果

通過構建完整的晶圓搬運系統(tǒng)，格創(chuàng)東智幫助客戶在空間和設備利用、運送安全與效率、生產(chǎn)調度靈活性等方面取得了顯著成效：

1、為客戶提供天花板架設軌道、采用多層設計OHB結構，充分考慮客戶工廠不同工序間傳送路徑間的配合，優(yōu)化天車傳送路徑，提高客戶整體空間使用率和設備使用效率。

2、極大地降低晶圓搬運過程搬運震動引發(fā)晶圓破損風險，搬運精度控制在±1mm以內，搬運過程載具振動值＜0.5G，關鍵取放過程實施多重防護，為生產(chǎn)物料及時穩(wěn)定安全運輸保駕護航。

3、有效整合MES、EAP、OHTC、OHT等軟件傳輸層的數(shù)據(jù)，充分考慮生產(chǎn)工藝過程物料運輸?shù)淖顑?yōu)路徑，有效避免擁堵，同時與FAB其他設備、軟件緊密協(xié)同，通過數(shù)字孿生技術實現(xiàn)對整廠搬運有效追蹤，為管理者提供了可靠、實時數(shù)據(jù)信息，同時增強了生產(chǎn)調度的靈活性和響應速度。