繼全國首條8英寸MEMS研發(fā)中試線落地上海嘉定工業(yè)區(qū)后，近日，由國家智能傳感器創(chuàng)新中心（以下簡稱“創(chuàng)新中心”）建設的國內(nèi)首條12英寸先進傳感器研發(fā)中試線，也在嘉定成功通線。

圖源網(wǎng)絡（芯研所采編）

芯研所7月4日消息，隨著上海市加快推進城市數(shù)字化轉(zhuǎn)型，物聯(lián)感知網(wǎng)絡越織越密，先進傳感器產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展。“面向新興技術(shù)發(fā)展和市場應用需求，創(chuàng)新中心將在12英寸中試線持續(xù)開發(fā)新材料、新工藝、新器件等關(guān)鍵共性技術(shù)，重點突破光學、聲學、力學等先進傳感器的核心工藝，并推動相關(guān)產(chǎn)品及應用的產(chǎn)業(yè)化。”創(chuàng)新中心相關(guān)負責人表示，未來，將重點搭建共性技術(shù)平臺，專注于先進傳感器特色工藝研發(fā)和中試。

圖源網(wǎng)絡（芯研所采編）

該中試線以國產(chǎn)設備為主，具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學氣相沉積、原子層沉積、化學機械研磨、濕法清洗、自動化量測等先進傳感器和晶圓級3D集成技術(shù)的核心工藝能力，可提供產(chǎn)品研發(fā)、小批量生產(chǎn)、技術(shù)培訓、設備驗證等服務。

圖源網(wǎng)絡（芯研所采編）

目前，創(chuàng)新中心已聯(lián)合中國傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟的1000余家企業(yè)開展共性技術(shù)研發(fā)，形成的“產(chǎn)、學、研、用”協(xié)同創(chuàng)新機制，將加速國內(nèi)先進傳感器及相關(guān)應用的核心技術(shù)發(fā)展，推動智能傳感、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能的生態(tài)體系建設。

圖源網(wǎng)絡（芯研所采編）

硅片一旦沾染微塵，就可能失效，因此中試線必須在無塵室下作業(yè)，而這種高標準廠房的建設要求極高，其中，最為嚴苛的是十級潔凈室，即一分鐘內(nèi)每立方英尺的空間內(nèi)大于0.2微米的微塵必須少于10顆。為此，嘉定區(qū)相關(guān)部門第一時間為該項目尋找合適的廠房，并跟蹤服務整個項目進程。

嘉定區(qū)科委主任謝東升表示，加快建設國內(nèi)首條12英寸先進傳感器中試線，有利于打造一個集研發(fā)、工程、市場、孵化的一體化功能平臺，推進區(qū)域內(nèi)產(chǎn)、學、研、用的協(xié)同發(fā)展。“以研發(fā)中試線為支點，可以撬動更多創(chuàng)新企業(yè)和高層次人才團隊來到嘉定，開展產(chǎn)品技術(shù)研發(fā)。通過整合區(qū)內(nèi)產(chǎn)業(yè)孵化器、產(chǎn)業(yè)基金等資源，助力嘉定打造千億級智能傳感器及物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)。”

圖源網(wǎng)絡（芯研所采編）

2021年1-5月，嘉定區(qū)智能傳感器及物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)總產(chǎn)出99.6億元。目前，嘉定區(qū)內(nèi)已集聚智能傳感器及物聯(lián)網(wǎng)企業(yè)超200家，初步覆蓋產(chǎn)業(yè)鏈上中下游各環(huán)節(jié)，擁有國家集成電路材料技術(shù)創(chuàng)新中心等7個公共服務性平臺以及2個集成電路基金。