真空是指在給定的空間內(nèi)低于一個大氣壓力的氣體狀態(tài)，是一種物理現(xiàn)象。事實上，在真空技術(shù)里，真空系針對大氣而言，一特定空間內(nèi)部之部份物質(zhì)被排出，使其壓力小于一個標準大氣壓，則通稱此空間為真空或真空狀態(tài)。而工業(yè)上的真空則指的是氣壓比一標準大氣壓小的氣體空間，是指稀薄的氣體狀態(tài)，又可分為高真空、中真空和低真空。在現(xiàn)代許多高精密度的產(chǎn)品在制造過程中的某些階段必需真空使用程度不一的真空才能制造，如半導體、硬盤、鏡片。下面工采網(wǎng)小編說說空氣質(zhì)量流量傳感器在低真空控制中的氣體流量測量相關(guān)應用。

真空氣體流量的測量常見于需要真空氣流的過程， 如寬范圍濕度的發(fā)生過程， 卷煙的生產(chǎn)過程及大氣環(huán)境的模擬過程等。在真空氣體流量的測量時流量調(diào)節(jié)過程中， 調(diào)節(jié)閥必不可少。真空狀態(tài)下， 流經(jīng)調(diào)節(jié)閥的流量幾乎完全由閥前、后壓力、氣流溫度四個變量決定。因此。真空狀態(tài)下， 氣體流量的測量具有如下特點 ：

（1） 流量密度小， 限制了渦街流量計與超聲流量計的正常使用。對于前者相應的氣流推力過小，對于后者則會產(chǎn)生阻抗匹配的困難。

（2） 不允許引入明顯的壓力損失。真空管道上安裝流量計后增大了阻力， 產(chǎn)生較大的壓損將使動力損耗大大增加， 不利于節(jié)能。因而孔板流量計、渦輪流量計、容積式流量計等均不適用。

（3） 流量計在負壓管道上安裝后， 如果存在泄漏很難覺察， 不僅會浪費動力， 而且會嚴重破壞內(nèi)部氣體環(huán)境。

空氣質(zhì)量流量傳感器在真空控制中的氣體流量測量

霍尼韋爾Honeywell 空氣質(zhì)量流量傳感器 － AWM3300V輸出電壓在50mV： AWM3000 系列是輸出為1－5V 或4～20mA的氣體質(zhì)量流量傳感器 。激光校整保證了互換性。測量流速可至1．0LPM 。能承受共膜壓力為25PSI 。

霍尼韋爾Honeywell 空氣質(zhì)量流量傳感器 AWM3300V 特點：

激光微調(diào)提高傳感器的互換性

流量傳感高達1．0 SLPM

低差壓傳感

霍尼韋爾Honeywell 空氣質(zhì)量流量傳感器 AWM3300V 參數(shù)：